1、每個(gè)程序在加工前,都要嚴(yán)格確認(rèn)刀具與程序是否一致。
2、裝刀時(shí)要確認(rèn)刀具的長度和所選的刀頭是否合適。
3、機(jī)器運(yùn)行過程中不要開門,以免飛刀或飛散工件。
4、如果在加工過程中發(fā)現(xiàn)刀具,操作者必須立即停止,例如按下“緊急停止”按鈕或“復(fù)位按鈕”按鈕或?qū)ⅰ斑M(jìn)給速度”調(diào)為零。 超精密零件加工方法的特點(diǎn)是對去除或添加的表面材料量進(jìn)行極其精細(xì)的控制。但是,要想獲得超精密零件加工的精度,仍然依靠精密的加工設(shè)備和精確的約束系統(tǒng),并以超精密掩模為中介。
例如超大規(guī)模集成電路的制版,通過電子束對掩模上的光刻膠(見光刻)進(jìn)行曝光,使光刻膠的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解),然后聚合或未聚合的部分用顯影劑溶解以形成掩模。電子束曝光制版需要臺(tái)面定位精度為±0.01μm的超精密加工設(shè)備。
超精密零件切割
主要有超精密車削、鏡面磨削和磨削。微車削是在超精密車床上用精細(xì)拋光的單晶金剛石車刀進(jìn)行的。切割厚度僅為1微米左右。常用于高精度、高外觀的有色金屬材料球面、非球面和平面鏡的加工。成分。例如,用于加工核聚變裝置的直徑為800mm的非球面鏡,其最大精度為0.1μm,外觀粗糙度為0.05μm。
超精密零件特殊加工
超精密零件加工精度為納米級,即使以原子單位(原子晶格間距為0.1-0.2納米)為目標(biāo),也無法適應(yīng)超精密零件切割方法,需要使用特殊精密零件加工方法,即應(yīng)用化學(xué)。
能量、電化學(xué)能、熱能或電能,使能量超過原子間的接合能,從而消除工件某些外部零件之間的粘附、接合或晶格變形,達(dá)到超精密加工的目的. 這些工藝包括機(jī)械化學(xué)拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝光、激光束加工、金屬蒸發(fā)和分子束外延。
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